Triclorossilano

O triclorossilano (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) é um líquido incolor e altamente volátil com um odor forte e sufocante de cloreto de hidrogênio. Fervendo a 31,8 graus e reagindo violentamente com a umidade, é a principal matéria-prima para o processo da Siemens produzir polissilício de alta{10}pureza para células solares fotovoltaicas e wafers semicondutores. O TCS também é amplamente utilizado no crescimento de wafer epitaxial de silício, síntese de organossilício (óleos de silicone, borrachas, resinas, agentes de acoplamento), deposição de filme fino de silício CVD e como agente redutor seletivo em síntese orgânica. Disponível em grau industrial (maior ou igual a 99,0%) e grau eletrônico (pureza até 9N). Classificado como reativo à água e altamente inflamável (UN 1295, Classe 4.3+2.3, PG I) com um alcance explosivo extremamente amplo de 1,2% a 90,5%; manusear somente sob condições estritamente anidras com proteção de nitrogênio seco.